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Optical Measurement and Thin Film Mechanics Lab.
 

微系統與生醫機械

 
 

光學量測與薄膜力學實驗室

 
 

由於光學量測技術同時具備高敏感性與非破壞性之優點,因此已廣泛應用於不同領域之工程問題,此外,薄膜材料亦已大量應用於半導體、生醫及顯示器等領域,由於薄膜之厚度極為微薄,其所展現之特性亦迥異於相同材料之塊材特性,因此,本實驗室將致力於建立相關光學量測技術於薄膜力學特性之量測與分析。

 

 

徐炯勛助理教授

 
 

1.使學生瞭解光學量測之原理。
2.
使學生具備架設光學量測系統之能力。
3.
使學生具備薄膜力學理論推導與實驗量測之能力。

 
 

1.電子光斑影像干涉系統
2.
電子剪切光斑干涉系統
3.
雲紋干涉系統
4.
光彈應力量測系統
5.
白光顯微干涉系統
6.
薄膜殘留應力量測系統
7.
膨脹測試薄膜機械性質量測技術

 

電子光斑影像干涉系統

 
薄膜殘留應力量測系統
 
     

薄膜殘留應力量測系統圖片

與合作單位(工業技術研究院、逢甲大學機械與電腦輔助工程學系、中興大學精密製造研究所)有良好互動。

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